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用SF6氣體檢漏儀有四種：紫外電離、電子捕獲、真空高頻電離及負電暈放電，電子捕獲測試儀靈敏度高于穩定性好，但價格昂貴，氣源要求高；紫外電離和負電暈放電檢測儀靈敏度適中，穩定性較好，但負電暈放電檢測儀準確性較差，價格低；真空管高頻電離測量范圍寬、靈敏度高、但測量誤差大，只能作定性半定量使用，且體積大、穩定性時間長。
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