SF6斷路器滅弧室從滅弧原理上可以分為自動式和外能式。在具體結構上分為：
（1）雙壓式滅弧室。最早的SF6斷路器采用了雙壓式滅弧室，類似壓縮空氣斷路器的設計思路，只是以SF6氣體取代了壓縮空氣，現已被淘汰。
（2）壓氣式滅弧室。壓氣式滅弧室即單壓式，SF6氣體只有一種壓力，滅弧室需要的壓力是分閘過程中由觸桿帶動氣缸（又叫壓氣罩），將氣缸內的SF氣體壓縮而建立的。當動觸桿運動至噴口打開時，氣缸內的高壓力SF6氣體經噴口吹電弧，使之熄滅。吹狐能量來源于操動機構。因此，壓氣式SF6斷路器對所配操動機構的分閘功率要求較大。在合閘操作時，滅弧室內的SF6氣體將通過回氣單向閥速補充到氣缸中，為下一次分閘做好準備。
（3）旋轉式滅弧室。旋轉式滅弧室在靜觸頭附近設置有磁吹線圈。開端電流時，線圈自動被電弧接近回路，在動觸頭之間產生橫向或縱向磁場，使被開斷的電弧沿觸頭中心旋轉，最終熄滅。這種滅弧室結構簡單，觸頭燒損輕微，在中壓系統中使用比較普通。
（4）氣自動式滅弧室。依靠磁場使電話旋轉或利用電弧阻塞原理，由電弧的能量加熱SF6氣體，使之壓力增高形成氣吹，從而使電弧熄滅。這種依靠電弧本身能量來熄滅的滅弧室成為氣自動式滅弧式。很顯然，這種滅弧室開斷電流小、電弧能量小、氣吹效果差、因而必須與氣壓式結構結合起來使用。
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