在2001年制定的第十個國家五年計劃中,中國政府強調了有機金屬化學氣相沉積磊晶技術(簡稱MOCVD)研發的重要性。從此,中國科學院半導體研發所開始不斷加強MOCVD技術創新及市場化的研發能力。
位于北京的中國科學院半導體研究所致力于促進中國半導體材料科學的發展和推廣。在過去的六年內,他們制造出世界上第一批立方相氮鎵發光二級管。在成功將藍光二級管(LED)技術轉入生產應用后,他們的努力都集中在短波長激光二極管、紫外探測器、高效LED和磁性半導體。最近該研究所成功地制造出幾種高靈敏度的紫外探測器,并在藍光激光二極管研發方面取得顯著進步。
MOCVD技術作用有機金屬盒特殊氣體在反應器內發生的化學反應,在有機分子通過熱基板時,使其分解,從而沉積磊晶,而廢棄的殘余物則被除去或沉積在反應器壁上。MOCVD能生產出高純度和結構秩序的III-V半導體。由于該工藝要求有毒易燃氣體正常流動,氣流系統必須非常可靠以確保安全。世偉洛克正是提供了氣體反應裝置的關鍵氣體控制配件。
世偉洛克半導體服務公司(SSSC)擁有高純度制造設備,致力于半導體技術創新、已客戶為中心的團隊成為向半導體研究院提供解決方案的****選擇。世偉洛克提供快速報價、加快訂單進程、專業客戶和技術服務以及快速產業分析,來滿足以快速和高互動性技術研發為特點的半導體行業需求。
但中國至今沒有生產MOCVD設備的專業廠家,企業必須花費大量資金從國外購買。進口的MOCVD設備價格不菲,而且使用過程中維護和零配件的采購不僅昂貴且存在很多的不方便。目前中國自主研發的設備僅為同類骨外設備價格的三分之一。因此,半導體研究所的研發努力對中國半導體工業的發展至關重要。
在此次研究生產Gan的多片結構MOCVD設備的過程中,中科院半導體研究所的研究人員發現目前管線在氣體進出線路設計上有所不足,即原先使用的閥門是一個五通閥,氣體二進三出,只能通過一個手柄控制氣流進出,造成各路氣體進氣不便、氣體的流量調節精度差,容易產生“死區”的問題,因此需要重新設計整個管線流程。同時由于整個項目驗收在即,研究人員需要一家能夠提供從管線設計到具體配件選擇和整套焊接等一系列解決方案的專業流體系統配件提供商。世偉洛克因此組成包含來自中國和美國的員工的團隊來迎接這個挑戰。
經驗豐富的世偉洛克銷售服務代表和現場工程師對該所的研究人員的需求進行了評估,協助半導體研究所的研究人員進行氣路改造設計,制定了兩個分別應用于常規氣源和MO源設備的解決方案,使用了世偉洛克(Swagelok(r))6LVV系列閥門配件,并安裝了VCR和Micro-Fit接頭。
中科院半導體研究所的項目負責人評價說:世偉洛克在提供了高質量的閥門配件以外,這種全新的整合服務理念,不僅靈活地為我們解決了技術上的難題,同時也大大節省了我們的時間和成本,使我們可以專心地進行研發,而將所有流體系統的問題放心地交給世偉洛克來解決。
該項目持續了六個半月。世偉洛克北京的銷售和服務代表幫助協調,并與上海的世偉洛克中國總部及位于克利夫蘭的美國總部緊密合作。
世偉洛克的技術人員不僅對設計圖改進提出專業建議,同時根據設計圖需求協助客戶選擇合適的閥門和接口。所有的這些閥門配件均由世偉洛克位于美國的工廠制造生產,再將客戶所選擇的閥門配件就地焊接后成套交付給客戶,進而節省了安裝時間和成本。大大提升整套氣路的密閉性和調節線性度,保障系統的安全、可靠和完整性。
世偉洛克項目負責人李維升回憶說;在與中科院半導體研究所溝通尋求解決方案的過程中,我們共進行了三十多次現場勘察,結合世偉洛克領先全球的流體技術、高質量的產品和獨特的整合服務,以及本土和美國總部技術人員的齊心合作是令這個專案順利完成的關鍵。
世偉洛克為半導體應用提供范圍廣泛的高純度和超高純度流體系統配件,包括隔膜閥、含氟聚合物閥和管材、PFA接頭、陶瓷過濾器、UHP傳感器、IGC(r)II模塊化氣體系統和垂直流量傳感器。
世偉洛克將繼續秉持預見客戶所需,并開發創新產品,來支持半導體行業的發展,滿足客戶需求。